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Thermal stability of AlCrTaTiZrMo-nitride high entropy film as a diffusion barrier for Cu metallization

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作者
Rongbin Li,Minxu Li,Chunxia Jiang,Bangwei Qiao,Weiwei Zhang,Jie Xu
出处
期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier]
日期：2018-09-24 卷期号：773: 482-489 被引量：36
标识
DOI：10.1016/j.jallcom.2018.09.283
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