Characterization of SiC Substrates Using X-Ray Rocking Curve Mapping

材料科学 方向错误 半最大全宽 光学 衍射 曲率 X射线 X射线晶体学 表征(材料科学) 晶格常数 格子(音乐) 结晶学 几何学 复合材料 物理 光电子学 数学 纳米技术 化学 微观结构 晶界 声学
作者
M. Yoganathan,Ejiro Emorhokpor,Thomas Kerr,Avi Gupta,C.D. Tanner,Ilya Zwieback
出处
期刊:Materials Science Forum 卷期号:527-529: 729-732 被引量:2
标识
DOI:10.4028/www.scientific.net/msf.527-529.729
摘要

SiC substrates produced at II-VI, Inc. have been characterized using x-ray rocking curve mapping (topography). The rocking curves have been measured in the -scan mode for the (0006) Bragg reflection of 6H and the (0004) reflection of 4H SiC substrates. The maps contain information extracted from the rocking curves, such as the peak angle () and the rocking curve broadening (FWHM). In the case when lattice distortion is present due to the elastic or plastic deformation, the peak angle () changes gradually upon scanning, with the d/dx gradient proportional to the lattice curvature in the plane of diffraction. Multi-peak reflections and/or sharp change in the value of indicate the presence of misoriented grains. X-ray rocking curve mapping of SiC substrates yields excellent measures of crystalline quality that contain important information on the lattice strain and sub-grain misorientation.
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