Control of ion energy distribution at substrates during plasma processing

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作者
S.-B. Wang,A. Wendt
出处
期刊:Journal of Applied Physics [American Institute of Physics]
卷期号:88 (2): 643-646 被引量:153
标识
DOI:10.1063/1.373715
摘要

Control of ion energy distribution functions (IEDF) at the substrate during plasma processing is achieved using a specially tailored voltage waveform for substrate bias, consisting of a short voltage spike in combination with a slow ramp. A much narrower IEDF is possible compared to the conventional approach of applying a sinusoidal waveform to the substrate electrode. Measurements in a helicon plasma combined with a time-dependent spherical-shell plasma fluid model demonstrate the benefits of this method in producing a narrow IEDF of precisely controllable energy, independent of ion mass.
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