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Development and Characterization of Yttria Stabilized Zirconia and Al2O3 Thin Films by Pulsed Laser Deposition

材料科学 氧化钇稳定氧化锆 脉冲激光沉积 残余应力 薄膜 立方氧化锆 微观结构 相(物质) 复合材料 基质(水族馆) 无定形固体 四方晶系 沉积(地质) 陶瓷 结晶学 纳米技术 化学 古生物学 地质学 海洋学 有机化学 生物 沉积物
作者
Subhasisa Nath,I. Manna,S. K. Ray,Jyotsna Dutta Majumdar
摘要

The present study concerns development of yttria stabilized zirconia (YSZ), Al2O3 and a multilayer of Al2O3-YSZ thin film deposition by pulsed laser deposition (PLD) technique for its application as thermal barrier coating (TBC). The detailed study included characterization (microstructure, composition, phase and surface topography) of the thin film. The phase analysis of the YSZ films deposited at room temperature showed amorphous feature, while the film deposited at high temperature showed the formation of tetragonal phase. Residual stress analysis of the coating showed the presence of compressive stress and was maximum at 573 K (sigma(11) = -8.1 GPa and sigma(22) = -6.4 GPa). Residual stress was found to decease with increase in substrate temperature and was found to be lowest at 973 K (sigma(11) = -3.0 GPa and sigma(22) = -1.7 GPa). The cross-sectional morphology of the YSZ and Al2O3 thin films deposited at room temperature showed presence of inter-columnar porosities which changed to a dense structure with increase in substrate temperature.

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