Femtosecond laser single step, full depth cutting of thick silicon sheets with low surface roughness

材料科学 飞秒 激光切割 表面粗糙度 薄脆饼 晶片切割 光学 激光器 表面光洁度 机械加工 GSM演进的增强数据速率 激光加工 光电子学 复合材料 激光束 冶金 物理 电信 计算机科学
作者
Zhaoqing Li,Olivier Allegre,Qianliang Li,Wei Guo,Lin Li
出处
期刊:Optics and Laser Technology [Elsevier]
卷期号:138: 106899-106899 被引量:19
标识
DOI:10.1016/j.optlastec.2020.106899
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