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Effect of the Processed Material Structure on the Polishing Quality of Optical Surfaces

抛光 材料科学 半导体 无定形固体 表面粗糙度 表面光洁度 光学 复合材料 光电子学 结晶学 物理 化学
作者
Yu. D. Filatov,V. I. Sidorko,С. В. Ковалев,V. A. Kovalev
出处
期刊：Journal of Superhard Materials [Springer Nature]
日期：2021-11-01 卷期号：43 (6): 435-443 被引量：4
标识
DOI：10.3103/s1063457621060058
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