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Ion assisted deposition of moisture stable hafnium oxide thin-films

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作者
Dale E. Morton,Denton Vacuum,Traci R. Jensen
标识
DOI：10.1364/oic.2001.mb6
摘要
This paper reports the process parameters used to make moisture stable HfO2, the optical properties of HfO2 in the UV-visible spectral region and gives an example of a moisture stable thin-film coating of a HfO2/SiO2 LWP filter.
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