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物理
作者
Shang Gao,
Yueqin Wu,
Renke Kang,
Han Huang
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2018-02-15
卷期号：79: 165-170
被引量：52
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2017.12.017
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