Effects of photoacid generator decomposition on dissolution kinetics of poly(4-hydroxystyrene) in tetraalkylammonium hydroxide aqueous solutions

四甲基氢氧化铵 溶解 氢氧化物 水溶液 化学 动力学 无机化学 材料科学 化学工程 核化学 有机化学 物理 量子力学 工程类
作者
Yutaro Iwashige,Yuko Tsutsui Ito,Takahiro Kozawa,Kazuo Sakamoto,Makoto Muramatsu
出处
期刊:Japanese Journal of Applied Physics 卷期号:62 (3): 036502-036502 被引量:2
标识
DOI:10.35848/1347-4065/acbcb6
摘要

Abstract For the advancement of lithography, the resist materials and processes are the most critical factors. In particular, the process of developing resist materials is important in reducing the line width roughness and stochastic defects. In this study, a quartz crystal microbalance method was used to investigate the dissolution dynamics of poly(4-hydroxystyrene) (PHS) films containing triphenylsulfonium nonaflate (TPS-nf) in tetraalkylammonium hydroxide (TAAH) aqueous solutions. The time required for dissolution increased with the alkyl chain length of TAAH. The dissolution rate of PHS films increased with UV irradiation dose for tetramethylammonium hydroxide and tetraethylammonium hydroxide developers, whereas the dissolution time increased for the tetrabutylammonium hydroxide developer. For the tetrapropylammonium hydroxide developer, the dissolution time of PHS films without postexposure baking (PEB) slightly decreased with UV irradiation, whereas that with PEB increased. Both the surface free energy of PHS films and the molecular size of TAAH are considered to affect dissolution kinetics.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
bai完成签到,获得积分10
1秒前
香蕉觅云应助茶柠采纳,获得10
1秒前
吐丝麵包应助温暖诗双采纳,获得20
2秒前
niaoniao完成签到,获得积分10
4秒前
LEE123发布了新的文献求助10
5秒前
6秒前
bai发布了新的文献求助10
6秒前
Seoyeong发布了新的文献求助10
7秒前
忧虑的代芙完成签到,获得积分10
10秒前
fairy发布了新的文献求助10
15秒前
张力大砖飞人完成签到 ,获得积分10
16秒前
乌龟娟应助迷人雪碧采纳,获得10
16秒前
16秒前
朴实的面包完成签到 ,获得积分10
18秒前
读不完的文献啊完成签到,获得积分10
18秒前
tangz发布了新的文献求助10
19秒前
所所应助科研通管家采纳,获得10
23秒前
23秒前
23秒前
Arya123000完成签到 ,获得积分10
24秒前
所所应助CC采纳,获得10
25秒前
科研通AI2S应助剑舞红颜笑采纳,获得10
27秒前
独特的沛凝完成签到,获得积分10
28秒前
珊珊发布了新的文献求助10
28秒前
抠脚大汉完成签到,获得积分10
30秒前
明理明杰完成签到,获得积分10
30秒前
34秒前
sisiguai完成签到,获得积分10
35秒前
Akim应助北风采纳,获得10
36秒前
38秒前
超超~完成签到,获得积分10
38秒前
茶柠完成签到,获得积分10
40秒前
美满的小蘑菇完成签到 ,获得积分10
42秒前
雪流星完成签到 ,获得积分10
43秒前
44秒前
无花果应助中心湖小海棠采纳,获得10
46秒前
细雨带风吹完成签到,获得积分10
46秒前
ya完成签到,获得积分10
48秒前
51秒前
54秒前
高分求助中
BIOLOGY OF NON-CHORDATES 1000
进口的时尚——14世纪东方丝绸与意大利艺术 Imported Fashion:Oriental Silks and Italian Arts in the 14th Century 800
Zeitschrift für Orient-Archäologie 500
The Collected Works of Jeremy Bentham: Rights, Representation, and Reform: Nonsense upon Stilts and Other Writings on the French Revolution 320
Equality: What It Means and Why It Matters 300
A new Species and a key to Indian species of Heirodula Burmeister (Mantodea: Mantidae) 300
Apply error vector measurements in communications design 300
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 物理化学 催化作用 细胞生物学 免疫学 冶金
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3347709
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2974173
关于积分的说明 8662625
捐赠科研通 2654789
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1453721
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 673022
邀请新用户注册赠送积分活动 663223