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The Effect of Physical Property Parameters of the Insulation Material Inside the Heat Shield on the Growth of Czochralski Silicon Crystal

材料科学 热导率 Crystal（编程语言） 复合材料 温度梯度 偏转（物理） 硅 晶体生长 热阻 热的 光电子学 光学 热力学 物理 量子力学 程序设计语言 计算机科学
作者
Rongrong Hu,Xuekang Lv,Jiacheng Li,Salamat Ali,Jing Qi
出处
期刊：Silicon [Springer Nature]
日期：2023-11-28 被引量：4
标识
DOI：10.1007/s12633-023-02778-9
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