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ALD grown Undoped ZnO and Al-doped-ZnO Thin-Film Heaters

兴奋剂 材料科学 光电子学 薄膜 化学工程 纳米技术 工程类
作者
Deniz Tugrul,Doğa Doğanay,Hüsnü Emrah Ünalan,Bilge Imer
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2024-12-01 卷期号：: 113942-113942
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2024.113942
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