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Growth of homoepitaxial single crystal diamond by microwave plasma CVD in H2-CH4-O2 gas mixtures at high microwave power densities

微波食品加热 等离子体 化学气相沉积 离子源 钻石 单晶 微波功率 材料科学 氢 化学 原子物理学 光电子学 物理 结晶学 有机化学 量子力学 复合材料
作者
A. P. Bolshakov,V. Yu. Yurov,И. А. Федорова,Artem Martyanov,Pavel V. Fedotov,А. Ф. Попович,V. G. Ralchenko,Bing Dai
出处
期刊：Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
日期：2024-10-30 卷期号：150: 111721-111721
标识
DOI：10.1016/j.diamond.2024.111721
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