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Roughness control in the processing of 2-inch polycrystalline diamond films on 4H-SiC wafers

材料科学 薄脆饼 钻石 聚晶金刚石 微晶 表面粗糙度 表面光洁度 光电子学 复合材料 冶金
作者
Xiufei Hu,Ziang Wang,Yingnan Wang,Saibin Han,Xiaoyu Zhang,Yan Peng,Lei Ge,Mingsheng Xu,Xiwei Wang,Jisheng Han,Xiangang Xu
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2024-08-30 卷期号：184: 108824-108824 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2024.108824
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