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A Novel Strategy to Achieve High-Performance Titanium-Doped InZnO Thin-Film Transistors Using Atomic Layer Deposition

原子层沉积 材料科学 薄膜晶体管 光电子学 兴奋剂 图层（电子） 晶体管 沉积（地质） 钛 电子工程 纳米技术 电气工程 冶金 电压 工程类 沉积物 生物 古生物学
作者
Tianxing Hu,Min Li,Hua Xu,Hong Tao,Zhiqiang Fang,Junhong Zhou,Miao Xu,Junbiao Peng,Li Wang
出处
期刊：IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-7
标识
DOI：10.1109/ted.2024.3466836
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