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A Comprehensive Review on FinFET in Terms of its Device Structure and Performance Matrices

短通道效应 MOSFET 泄漏（经济） 材料科学 晶体管 电容 电气工程 缩放比例 频道（广播） 信道长度调制 光电子学 工程物理 物理 工程类 电压 数学 电极 几何学 量子力学 经济 宏观经济学
作者
M. Nomitha Reddy,Deepak Kumar Panda
出处
期刊：Silicon [Springer Nature]
日期：2022-05-13 卷期号：14 (18): 12015-12030 被引量：24
标识
DOI：10.1007/s12633-022-01929-8
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