亲爱的研友该休息了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整地填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!身体可是革命的本钱,早点休息,好梦!

Experiment and simulation validated analytical equivalent circuit model for piezoelectric micromachined ultrasonic transducers

PMUT公司 声学 超声波传感器 压电 材料科学 等效电路 电阻抗 电容式微机械超声换能器 传感器 振动 声阻抗 测距 电子工程 电压 工程类 电气工程 物理 电信
作者
Katherine Smyth,Sang‐Gook Kim
出处
期刊:IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency Control [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:62 (4): 744-765 被引量:99
标识
DOI:10.1109/tuffc.2014.006725
摘要

An analytical Mason equivalent circuit is derived for a circular, clamped plate piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (pMUT) design in 31 mode, considering an arbitrary electrode configuration at any axisymmetric vibration mode. The explicit definition of lumped parameters based entirely on geometry, material properties, and defined constants enables straightforward and wide-ranging model implementation for future pMUT design and optimization. Beyond pMUTs, the acoustic impedance model is developed for universal application to any clamped, circular plate system, and operating regimes including relevant simplifications are identified via the wave number-radius product ka. For the single-electrode fundamental vibration mode case, sol-gel Pb(Zr0.52)Ti0.48O3 (PZT) pMUT cells are microfabricated with varying electrode size to confirm the derived circuit model with electrical impedance measurements. For the first time, experimental and finite element simulation results are successfully applied to validate extensive electrical, mechanical, and acoustic analytical modeling of a pMUT cell for wide-ranging applications including medical ultrasound, nondestructive testing, and range finding.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
55秒前
1分钟前
Tiger完成签到,获得积分10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
Ma发布了新的文献求助10
1分钟前
2分钟前
2分钟前
科研通AI5应助Ma采纳,获得10
2分钟前
彼岸花开发布了新的文献求助10
2分钟前
2分钟前
易四夕发布了新的文献求助10
2分钟前
3分钟前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
3分钟前
Ma发布了新的文献求助10
3分钟前
1234完成签到,获得积分10
3分钟前
岁和景明完成签到 ,获得积分10
3分钟前
科研通AI5应助Ma采纳,获得10
3分钟前
西蓝花香菜完成签到 ,获得积分10
3分钟前
4分钟前
4分钟前
5分钟前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
5分钟前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
5分钟前
Ma发布了新的文献求助10
5分钟前
5分钟前
科研通AI5应助Ma采纳,获得10
5分钟前
忧伤的绍辉完成签到 ,获得积分10
5分钟前
隐形曼青应助易四夕采纳,获得10
5分钟前
6分钟前
易四夕发布了新的文献求助10
6分钟前
6分钟前
6分钟前
Ma发布了新的文献求助10
7分钟前
7分钟前
随机子发布了新的文献求助10
7分钟前
7分钟前
Ava应助科研通管家采纳,获得10
7分钟前
科目三应助科研通管家采纳,获得10
7分钟前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
7分钟前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Cognitive Neuroscience: The Biology of the Mind 1000
Technical Brochure TB 814: LPIT applications in HV gas insulated switchgear 1000
Immigrant Incorporation in East Asian Democracies 600
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
A Preliminary Study on Correlation Between Independent Components of Facial Thermal Images and Subjective Assessment of Chronic Stress 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3968504
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3513278
关于积分的说明 11167214
捐赠科研通 3248660
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1794386
邀请新用户注册赠送积分活动 875030
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 804638