Improvement in crystal orientation of AlN thin films prepared on Mo electrodes using AlN interlayers

材料科学 氮化物 电极 成核 薄膜 结晶度 溅射 纹理(宇宙学) 外延 复合材料 溅射沉积 氮化铝 光电子学 图层(电子) 冶金 纳米技术 图像(数学) 物理化学 人工智能 有机化学 化学 计算机科学
作者
Toshihiro Kamohara,Morito Akiyama,Naohiro Ueno,Noriyuki Kuwano
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier]
卷期号:34 (4): 985-989 被引量:32
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2007.09.051

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