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Micro Pinhole Formation in Photoresist Multilayer Structure controlled with Hydrophilic Treatment

材料科学光刻胶光电子学针孔（光学）图层（电子）抵抗复合材料

作者

Yuta Noguchi,Kenta Takahashi,Akira Kawai

出处

期刊：Journal of Photopolymer Science and Technology [The Technical Association of Photopolymers, Japan]
日期：2013-12-28 卷期号：26 (6): 739-744 被引量：2

标识

DOI：10.2494/photopolymer.26.739

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