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Influence of base pressure on property of sputtering deposited ITO film

X射线光电子能谱溅射材料科学氧化铟锡分析化学（期刊）微观结构光电效应溅射沉积薄膜复合材料光电子学纳米技术化学化学工程色谱法工程类

作者

Shumin Yang,Jingming Zhong,Bin Sun,Xueyun Zeng,Wen Qin Luo,Xu Zhao,Yongchun Shu,Jie Chen,Jilin He

出处

期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Nature]
日期：2019-06-17 卷期号：30 (14): 13005-13012 被引量：15

标识

DOI：10.1007/s10854-019-01662-w

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