Laser Processing by Using Diffractive Optical Laser Beam Shaping Technique

材料科学 激光器 光学 激光束 梁(结构) X射线激光器 光电子学 激光功率缩放 物理
作者
Gediminas Račiukatis
出处
期刊:Journal of Laser Micro Nanoengineering [Japan Laser Processing Society]
卷期号:6 (1): 37-43 被引量:70
标识
DOI:10.2961/jlmn.2011.01.0009
摘要

Laser beam shaping and homogenization techniques are substantial to optimize a large number of laser-material processing applications and laser-material interaction studies.Diffractive optical elements (DOE) play important role in provision of the process-adapted laser beam shaping.In this paper, we present an approach for laser beam shaping by using innovative DOE.The circular Gaussian beam was transformed to a square flat-top intensity profile in the focal plane of the objective lens by using novel DOE from TOPAG Lasertechnik GmbH.About 95% of the laser energy was coupled in the main beam with a nearly perfect rectangular shape.Experimental results have been achieved by applying the shaped beam for laser microfabrication.The picosecond and nanosecond lasers with moderate beam quality (M 2 =1.5) were used in the experiment.The shaped laser beam was applied for direct laser ablation of metal film on the glass substrate, drilling in a silicon wafer, scribing of thin-film solar cells and other technical materials.This technique allows creating a rectangular-shaped flat-top intensity profile in the focal plane that shows distinct advantages in laser material processing.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
闷声发完成签到,获得积分10
刚刚
瘦瘦茗茗完成签到,获得积分10
刚刚
w1x2123完成签到,获得积分10
1秒前
tommorw完成签到 ,获得积分10
1秒前
hh1234完成签到,获得积分10
2秒前
勤恳冰彤关注了科研通微信公众号
2秒前
法克西瓜汁完成签到,获得积分10
3秒前
超级如风完成签到 ,获得积分10
3秒前
热心市民小红花应助hopen采纳,获得10
5秒前
talksilence完成签到,获得积分10
5秒前
SSSstriker完成签到,获得积分10
5秒前
淡然的奎完成签到,获得积分10
6秒前
瑞瑞完成签到 ,获得积分10
7秒前
7秒前
立里完成签到,获得积分10
7秒前
竹筏过海应助Ihang采纳,获得50
8秒前
8秒前
上官聪展完成签到 ,获得积分0
8秒前
9秒前
Adler应助Kenny采纳,获得10
9秒前
10秒前
huan完成签到 ,获得积分10
10秒前
Wang完成签到,获得积分10
10秒前
11秒前
11秒前
sunsun发布了新的文献求助10
12秒前
lyx完成签到,获得积分20
13秒前
小天添完成签到,获得积分20
13秒前
Raylihuang完成签到,获得积分10
14秒前
FUTURE完成签到,获得积分10
14秒前
发财小彤完成签到,获得积分10
14秒前
无聊的香芦完成签到,获得积分10
15秒前
韩邹光完成签到,获得积分10
15秒前
小李要努力完成签到 ,获得积分10
15秒前
田様应助yihoxu采纳,获得10
15秒前
15秒前
Fei发布了新的文献求助10
16秒前
TheDing完成签到,获得积分10
16秒前
谔谔完成签到,获得积分10
16秒前
饿哭了塞完成签到 ,获得积分10
16秒前
高分求助中
Sustainability in Tides Chemistry 2000
Microlepidoptera Palaearctica, Volumes 1 and 3 - 13 (12-Volume Set) [German] 1122
Дружба 友好报 (1957-1958) 1000
The Data Economy: Tools and Applications 1000
Mantiden - Faszinierende Lauerjäger – Buch gebraucht kaufen 700
PraxisRatgeber Mantiden., faszinierende Lauerjäger. – Buch gebraucht kaufe 700
A Dissection Guide & Atlas to the Rabbit 600
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3099914
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2751373
关于积分的说明 7613446
捐赠科研通 2403368
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1275253
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 616318
版权声明 599053