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Single-Walled Carbon Nanotube Thin Film with High Semiconducting Purity by Aerosol Etching toward Thin-Film Transistors

材料科学薄膜晶体管薄膜碳纳米管光电子学制作纳米技术蚀刻（微加工）化学气相沉积

作者

Yongping Liao,Zhao Zhang,Qiang Zhang,Nan Wei,Saeed Ahmad,Ying Tian,Esko I. Kauppinen

出处

期刊：ACS applied nano materials [American Chemical Society]
日期：2021-09-24 卷期号：4 (9): 9673-9679

标识

DOI：10.1021/acsanm.1c02056

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