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Precision Displacement Measurement with Nanometer Resolution Based on Transmissive Laser Air-Wedge Interference

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作者
王子轩 Zixuan Wang,冀聪 Cong Ji,王晶 Jing Wang,杨钢 Gang Yang,王肖隆 Xiaolong Wang,林强 Qiang Lin
出处
期刊：Zhongguo jiguang [Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics]
日期：2019-01-01 卷期号：46 (9): 0904006-0904006
标识
DOI：10.3788/cjl201946.0904006
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