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Realization of wafer-scale single-crystalline GaN film on CMOS-compatible Si(100) substrate by ion-cutting technique
基质（水族馆）
硅
制作
外延
图层（电子）
作者
Shi Hangning,
Kai Huang,
Fengwen Mu,
Tiangui You,
Qinghua Ren,
Lin Jiajie,
Wenhui Xu,
Jin Tingting,
Hao Huang,
Ailun Yi,
Shibin Zhang,
Li Zhongxu,
Min Zhou,
Jianfeng Wang,
Ke Xu,
Xin Ou
出处
期刊：
Semiconductor Science and Technology
[IOP Publishing]
日期：2020-10-13
卷期号：35 (12): 125004-
被引量：7
标识
DOI：10.1088/1361-6641/abb073
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