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Self-stopping slurry for planarizing extremely high surface film topography in nanoscale semiconductor devices

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作者
Young Hye Son,Jea‐Gun Park,Byoung Kwon Choo,Seung bae Kang
出处
期刊:Journal of the Korean Physical Society [Springer Nature]
卷期号:79 (1): 44-48 被引量:2
标识
DOI:10.1007/s40042-021-00207-x
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