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Stripping of carbon coatings in radio-frequency inductively coupled plasma of H2/Ar
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作者
Dmitrii V. Sidelev,
Sergey Ruchkin,
Y N Yurjev,
Антон Ломыгин,
M. S. Syrtanov,
Galina N. Stolbovskaya,
Sergey Ukhanov
出处
期刊：
Surface & Coatings Technology
[Elsevier]
日期：2021-10-25
卷期号：427: 127837-127837
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2021.127837
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