Stripping of carbon coatings in radio-frequency inductively coupled plasma of H2/Ar

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作者
Dmitrii V. Sidelev,Sergey Ruchkin,Y N Yurjev,Антон Ломыгин,M. S. Syrtanov,Galina N. Stolbovskaya,Sergey Ukhanov
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier]
卷期号:427: 127837-127837
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2021.127837
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