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Heteroepitaxial growth of β-Ga2O3 thin films on c-plane sapphire substrates with β-(AlxGa1-x)2O3 intermediate buffer layer by mist-CVD method

材料科学 雾 蓝宝石 缓冲器（光纤） 图层（电子） 薄膜 光电子学 化学气相沉积 化学工程 纳米技术 光学 工程类 电信 激光器 物理 气象学 计算机科学
作者
Yaolin Cheng,Chunfu Zhang,Yu Xu,Zhe Li,Dazheng Chen,Weidong Zhu,Qian Feng,Shengrui Xu,Jincheng Zhang,Yue Hao
出处
期刊：Materials today communications [Elsevier BV]
日期：2021-09-11 卷期号：29: 102766-102766 被引量：19
标识
DOI：10.1016/j.mtcomm.2021.102766
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