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Hyperdoping of silicon films with titanium via nanosecond-laser melting: Structure evolution, impurity distribution, sub-bandgap formation, and doping mechanism

材料科学带隙杂质光电子学无定形固体兴奋剂通量薄膜结晶度纳米晶材料纳秒硅激光器分析化学（期刊）光学纳米技术复合材料结晶学物理有机化学化学色谱法

作者

C. Wen,Zhenqi Shi,J.X. Wang,Jiajie Tang,Y.B. Zhang,Yuping Jiang,Y.J. Ma,X.H. Li,Wenjie Yang

出处

期刊：Optics and Laser Technology [Elsevier]
日期：2021-11-11 卷期号：147: 107637-107637 被引量：11

标识

DOI：10.1016/j.optlastec.2021.107637

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