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Hyperdoping of silicon films with titanium via nanosecond-laser melting: Structure evolution, impurity distribution, sub-bandgap formation, and doping mechanism

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作者
C. Wen,Zhenqi Shi,J.X. Wang,Jiajie Tang,Y.B. Zhang,Yuping Jiang,Y.J. Ma,X.H. Li,Wenjie Yang
出处
期刊：Optics and Laser Technology [Elsevier]
日期：2021-11-11 卷期号：147: 107637-107637 被引量：7
标识
DOI：10.1016/j.optlastec.2021.107637
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