Practical guide for curve fitting in x-ray photoelectron spectroscopy

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作者
George H. Major,Neal Fairley,Peter M. A. Sherwood,Matthew R. Linford,Jeff Terry,Vincent Fernandez,Kateryna Artyushkova
出处
期刊:Journal of vacuum science & technology [American Vacuum Society]
卷期号:38 (6): 061203-061203 被引量:113
标识
DOI:10.1116/6.0000377
摘要

The use of peak fitting to extract information from x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) data is of growing use and importance. Due to increased instrument accessibility and reliability, the use of XPS instrumentation has significantly increased around the world. However, the increased use has not been matched by the expertise of the new users, and the erroneous application of curve fitting has contributed to ambiguity and confusion in parts of the literature. This guide discusses the physics and chemistry involved in generating XPS spectra, describes good practices for peak fitting, and provides examples of appropriate use along with tools for avoiding mistakes.
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