SiO2-SiO2 die-to-wafer direct bonding interface weakening

阳极连接 晶片键合 退火(玻璃) 直接结合 材料科学 薄脆饼 热压连接 扩散焊 复合材料 引线键合 纳米技术
作者
Toshiyuki Tabata,Loic Sanchez,V. Larrey,Frank Fournel,Hubert Moriceau
出处
期刊:Microelectronics Reliability [Elsevier BV]
卷期号:107: 113589-113589 被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.microrel.2020.113589
摘要

Nowadays silicon (Si) based die-to-wafer (D2W) direct bonding technique is of great interest for enabling advanced 3D-integrated device applications. The small size of bonded dies makes an important difference from standard wafer-to-wafer direct bonding in terms of bonding mechanism or bonding strength evolution, because it allows rapid lateral diffusion of the chemical species related to direct bonding at the interface. In the case of hydrophilic SiO 2 -SiO 2 direct bonding, water plays an essential role for bonding area evolution. Control of sample storage condition is therefore quite important because the humidity of storage environment may affect water diffusion at the bonding interface. However, there is a lack of in-depth study about the reliability of the SiO 2 -SiO 2 D2W direct bonding due to the difficulty of evaluating the strength of the bonding interface. In this paper, using a previously developed modified four-point flexion test, we have systematically investigated the effect of sample storage before or after post-bonding annealing on SiO 2 -SiO 2 D2W direct bonding energies. Weakening of the SiO 2 -SiO 2 D2W direct bonding interfaces was observed during sample storage in humid ambiences after post-bonding annealing. This unexpected weakening effect could be explained by the water stress corrosion which occurs around asperity contacts of the bonded SiO 2 surfaces due to water molecule diffusion at the bonding interface after post-bonding annealing.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
Zzx完成签到,获得积分10
1秒前
Fin2046发布了新的文献求助30
2秒前
炒鸡小将完成签到,获得积分10
2秒前
机智灵薇发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
橙子完成签到 ,获得积分10
4秒前
刻苦的晓蕾完成签到,获得积分10
4秒前
崔志海完成签到,获得积分10
5秒前
5秒前
6秒前
胡须应助祁乐安采纳,获得20
9秒前
刘钱美子完成签到,获得积分10
9秒前
qian完成签到 ,获得积分10
9秒前
李治海发布了新的文献求助10
10秒前
醉眠完成签到 ,获得积分10
10秒前
Fin2046完成签到,获得积分10
10秒前
学不懂数学完成签到,获得积分10
11秒前
莓烦恼完成签到 ,获得积分10
12秒前
13秒前
白江虎完成签到,获得积分10
14秒前
15秒前
阳光的凌雪完成签到 ,获得积分10
16秒前
文艺小馒头完成签到,获得积分10
16秒前
赵赵发布了新的文献求助20
17秒前
橙子发布了新的文献求助10
19秒前
20秒前
Wsyyy完成签到 ,获得积分10
22秒前
22秒前
ganjqly完成签到,获得积分10
22秒前
董惠玲66发布了新的文献求助10
23秒前
g7001完成签到,获得积分10
25秒前
blue发布了新的文献求助10
25秒前
刘铭晨完成签到,获得积分10
25秒前
XYZ完成签到 ,获得积分10
26秒前
wmszhd完成签到,获得积分10
26秒前
付艳完成签到,获得积分10
26秒前
CAOHOU应助论文顺利采纳,获得10
27秒前
nancy93228完成签到 ,获得积分10
28秒前
搜集达人应助JW采纳,获得10
30秒前
???完成签到,获得积分10
32秒前
高分求助中
【提示信息,请勿应助】关于scihub 10000
Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] 3000
徐淮辽南地区新元古代叠层石及生物地层 3000
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
Handbook of Industrial Diamonds.Vol2 1100
Global Eyelash Assessment scale (GEA) 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 550
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4038303
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3576013
关于积分的说明 11374210
捐赠科研通 3305780
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1819322
邀请新用户注册赠送积分活动 892672
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 815029