亲爱的研友该休息了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整地填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!身体可是革命的本钱,早点休息,好梦!

Reaction of Ozone and H2O2 in NH4OH Solutions and Their Reaction with Silicon Wafers

臭氧 氧化剂 化学 过氧化氢 水溶液 薄脆饼 分析化学(期刊) 过氧化物 氧化还原 溶解度 无机化学 核化学 材料科学 物理化学 环境化学 纳米技术 有机化学
作者
Dae-Hong Eom,Geunbae Lim,Jin-Goo Park,Ahmed Busnaina
出处
期刊:Japanese Journal of Applied Physics [Institute of Physics]
卷期号:43 (6R): 3335-3335 被引量:5
标识
DOI:10.1143/jjap.43.3335
摘要

The main purpose of this study was to evaluate ozone chemistry in NH 4 OH solutions in terms of oxidizing power compared with H 2 O 2 -based NH 4 OH solutions. The solubility of ozone in the solutions tested was almost nil at room temperature when the solution pH was higher than 9. However, the decrease in solution temperature to 10°C resulted in a dissolved ozone concentration at the ppm level in NH 4 OH solutions. The slow decrease in pH and the increase in redox potential were measured as functions of ozone injection time in NH 4 OH solutions at 10°C. The half-life times of peroxide were 40 min and 4 h in 1:1:5 (volume ratio) NH 4 OH:H 2 O 2 :H 2 O (SC1, standard clean 1) solution at 80 and 50°C, respectively. However, the half-life of ozone at room temperature was less than 2∼ 5 min at the concentrations investigated. The contact angles of bare silicon changed from 72° to less than 5° within 10 s in SC1 at 80°C. In ozonated solutions, change of contact angle to hydrophilic took longer than 3 min depending on the concentration of ozone in NH 4 OH solutions. The addition of peroxide and ozone significantly reduced the etch rate of silicon in NH 4 OH solutions. When Al 2 O 3 particles were deposited on silicon wafers, ozonated NH4OH combined use with megasonic power at room temperature could remove more than over 90% of particles from the wafer surface.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
sinan发布了新的文献求助10
23秒前
WerWu完成签到,获得积分10
24秒前
39秒前
39秒前
50秒前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
58秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
dara997发布了新的文献求助10
1分钟前
dara997完成签到,获得积分10
1分钟前
辣椒油完成签到,获得积分20
1分钟前
1分钟前
1分钟前
2分钟前
2分钟前
2分钟前
田様应助科研通管家采纳,获得10
2分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
3分钟前
3分钟前
隐形曼青应助noob_采纳,获得10
3分钟前
哈哈哈发布了新的文献求助10
3分钟前
3分钟前
noob_发布了新的文献求助10
3分钟前
科研通AI5应助哈哈哈采纳,获得10
3分钟前
青山完成签到,获得积分10
3分钟前
4分钟前
4分钟前
sunshinelwt发布了新的文献求助10
4分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
4分钟前
4分钟前
去晒月亮完成签到,获得积分20
4分钟前
4分钟前
伯赏元彤发布了新的文献求助10
4分钟前
去晒月亮发布了新的文献求助10
4分钟前
4分钟前
Jimmy发布了新的文献求助10
4分钟前
4分钟前
共享精神应助伯赏元彤采纳,获得10
4分钟前
领导范儿应助科研通管家采纳,获得10
4分钟前
4分钟前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 700
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3976665
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3520770
关于积分的说明 11204786
捐赠科研通 3257528
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1798733
邀请新用户注册赠送积分活动 877897
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 806629