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作者
Adrien Plecis,
Yong Chen
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier]
日期：2007-02-22
卷期号：84 (5-8): 1265-1269
被引量：78
标识
DOI：10.1016/j.mee.2007.01.276
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