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作者
Thomas Hanemann,
J. Haußelt,
E. Ritzhaupt-Kleissl
出处
期刊：
Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems
[Springer Nature]
日期：2008-07-09
卷期号：15 (3): 421-427
被引量：22
标识
DOI：10.1007/s00542-008-0670-8
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