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Properties of nickel oxide thin films deposited by RF reactive magnetron sputtering

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作者
LU Yu-qi,Wen-Shyang Hwang,Jiyoon YANG,Hung-Shiang Chuang
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2002-12-01 卷期号：420-421: 54-61 被引量：139
标识
DOI：10.1016/s0040-6090(02)00654-5
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