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An algorithm for boron diffusion in MOS transistors using Silvaco Athena and MATLAB

硼 扩散 MATLAB语言 晶体管 材料科学 算法 计算机科学 光电子学 电气工程 物理 工程类 核物理学 操作系统 热力学 电压
作者
N. Guenifi,R. Mahamdi,I. Rahmani
出处
期刊：Phosphorus Sulfur and Silicon and The Related Elements [Taylor & Francis]
日期：2017-12-15 卷期号：193 (2): 98-103
标识
DOI：10.1080/10426507.2017.1417305
摘要
GRAPHICAL ABSTRACT An algorithm for boron diffusion in MOS transistors using Silvaco Athena and MATLABAll authorsN. Guenifi, R. Mahamdi & I. Rahmanihttps://doi.org/10.1080/10426507.2017.1417305Published online:29 December 2017
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