Study on the surface energy characteristics of polydimethylsiloxane (PDMS) films modified by C4F8/O2/Ar plasma treatment

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作者
Yong Geun Kim,Nomin Lim,Jihun Kim,Changmok Kim,Junmyung Lee,Kwang‐Ho Kwon
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier]
卷期号:477: 198-203 被引量:45
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2017.11.009
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