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Chemical and structural characterization of tungsten nitride (WNx) thin films synthesized via Gas Injection Magnetron Sputtering technique

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作者
Bartosz Wicher,Rafał Choduń,Katarzyna Nowakowska‐Langier,Marek Trzciński,Łukasz Skowroński,Sebastian Okrasa,R. Minikayev,M.K. Naparty,Krzysztof Zdunek
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2019-04-13 卷期号：165: 266-273 被引量：34
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2019.04.020
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