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Two-regime property dependence on plasma power of plasma-enhanced atomic layer-deposited In2O3 thin films and underlying mechanism

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作者
Zhi-Xuan Zhang,Ming-Jie Zhao,Wan-Yu Wu,Dong‐Sing Wuu,Peng Gao,Shui‐Yang Lien,Wen‐Zhang Zhu
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2023-07-17 卷期号：216: 112414-112414 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2023.112414
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