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Liquid film shearing polishing for high quality and low damage tungsten surface: Process optimization, removal mechanism, and processing defects

抛光 剪切（物理） 材料科学 钨 复合材料 冶金 工艺工程 机械工程 工程制图 法律工程学 工程类
作者
Binbin Hong,Yiyang Chen,Hongyu Chen,Te Zhu,Peng Zhang,Xingzhong Cao,Xiaoyu Zhao,Laima Luo,Pengqi Chen,Haifeng Li,Binghai Lyu
出处
期刊：International Journal of Refractory Metals & Hard Materials [Elsevier BV]
日期：2025-04-01 卷期号：: 107189-107189
标识
DOI：10.1016/j.ijrmhm.2025.107189
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