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SiO2/Si interface defects in HKMG stack fabrication

材料科学 堆栈（抽象数据类型） 制作 接口（物质） 工程物理 光电子学 复合材料 操作系统 计算机科学 工程类 毛细管数 医学 病理 毛细管作用 替代医学
作者
Shota Nunomura,Yukinori Morita
出处
期刊：Surfaces and Interfaces [Elsevier BV]
日期：2024-11-20 卷期号：56: 105445-105445 被引量：9
标识
DOI：10.1016/j.surfin.2024.105445
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