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SiO2/Si interface defects in HKMG stack fabrication

材料科学 堆栈(抽象数据类型) 制作 接口(物质) 工程物理 光电子学 复合材料 操作系统 计算机科学 工程类 毛细管数 医学 病理 毛细管作用 替代医学
作者
Shota Nunomura,Yukinori Morita
出处
期刊:Surfaces and Interfaces [Elsevier BV]
卷期号:56: 105445-105445 被引量:9
标识
DOI:10.1016/j.surfin.2024.105445
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