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Influence factors of aluminum nitride deposition investigated by molecular simulations

氮化物 沉积（地质） 铝 材料科学 纳米技术 冶金 化学物理 工程物理 化学 物理 地质学 古生物学 图层（电子） 沉积物
作者
Yafei Li,Motoaki Kawase
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier]
日期：2024-12-20 卷期号：652: 128050-128050
标识
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2024.128050
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