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Atomic Understanding of the Plastic Deformation Mechanism of 4H-SiC Under Different Grain Depth-of-cut During Nano-Grinding
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作者
Haoxiang Wang,
Shang Gao,
Xiaoguang Guo,
Yulong Ding,
Renke Kang
出处
期刊:
Journal of Electronic Materials
[Springer Science+Business Media]
日期:2023-04-28
卷期号:52 (7): 4865-4877
被引量:17
标识
DOI:10.1007/s11664-023-10457-z
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