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A new metallization method of modified tannic acid photoresist patterning

单宁酸 光刻胶 原位 材料科学 电镀(地质) 化学工程 纳米技术 化学 有机化学 图层(电子) 地球物理学 地质学 工程类
作者
Zicheng Tang,Xubin Guo,Haihua Wang,Huan Chen,Wenbing Kang
标识
DOI:10.1039/d3im00066d
摘要

A new process of in situ Ag fine pattern formation by direct pattern transfer of a modified tannic acid photoresist and in situ electroless plating in an Ag ion solution was reported.
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