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Extreme silicon thinning for back side power delivery network: Si thinning stopping on scaled SiGe etch stop layer

稀释 硅 图层（电子） 材料科学 蚀刻（微加工） 阻止力 光电子学 纳米技术 计算机科学 电信 生态学 探测器 生物
作者
Farid Sebaai,Roger Loo,Anne Jourdain,Eric Beyne,Hikaru Kawarazaki,Teppei Nakano,Efrain Altamirano Sánchez
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2024-11-01 卷期号：294: 112246-112246
标识
DOI：10.1016/j.mee.2024.112246
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