A MEMS-Based Three-Ring Capacitive Angular Position Sensor With an Absolute Zero Position Feature

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作者
Jinxuan Xie,Tong Zhou,Xiaoshi Li,Yu Ze Chen,Tianyu Yang,Yan Su
出处
期刊:IEEE Transactions on Industrial Electronics [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-11
标识
DOI:10.1109/tie.2024.3409884
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