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Ultraflat single-crystal hexagonal boron nitride for wafer-scale integration of a 2D-compatible high-κ metal gate

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作者
Yani Wang,Chao Zhao,Xin Gao,Liming Zheng,Jun Qian,Xiaoyin Gao,Jiade Li,Junchuan Tang,Congwei Tan,Li Wang,Xuetao Zhu,Jiandong Guo,Zhongfan Liu,Feng Ding,Hailin Peng
出处
期刊：Nature Materials [Springer Nature]
日期：2024-08-12
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1038/s41563-024-01968-z
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