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Effect of annealing treatment on the structural, optical, and electrical properties of Al-doped ZnO thin films

材料科学 结晶度 薄膜 退火（玻璃） 溅射沉积 溅射 兴奋剂 光电子学 电阻率和电导率 腔磁控管 复合材料 纳米技术 电气工程 工程类
作者
L LI,Lei Fang,Xi Chen,Guang Liu,J LIU,Fengrui Yang,G.Z. Fu,Chunlong Kong
出处
期刊：Rare Metals [Springer Nature]
日期：2007-06-01 卷期号：26 (3): 247-253 被引量：20
标识
DOI：10.1016/s1001-0521(07)60210-1
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