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Reliability of parameters of associated base straight line in step height samples: Uncertainty evaluation in step height measurements using nanometrological AFM

纳米计量学 校准 计量学 测量不确定度 基础（拓扑） 直线（几何图形） 航程（航空） 可靠性（半导体） 尺寸计量学 光学 准确度和精密度 数学 材料科学 物理 统计 几何学 数学分析 复合材料 功率（物理） 量子力学
作者
Ichiko Misumi,Satoshi Gonda,Tomizo Kurosawa,Yasushi Azuma,Toshiyuki Fujimoto,Isao Kojima,Toshihisa Sakurai,Tadahiro Ohmi,Kiyoshi Takamasu
出处
期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology [Elsevier BV]
日期：2005-07-13 卷期号：30 (1): 13-22 被引量：41
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2005.03.002
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