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Atomic level surface on aspheric quartz crucible with large sizes induced by developed green chemical mechanical polishing with composite rare earth oxides

材料科学 抛光 坩埚（大地测量学） 石英 稀土 复合数 冶金 土（古典元素） 曲面（拓扑） 复合材料 几何学 数学 数学物理 物理 计算化学 化学
作者
Honggang Sun,Zhenyu Zhang,Zhenling Zeng,Xiangxiang Cui,Cheng Fan,Yang Gu,Hongxiu Zhou,Chunjing Shi,Hao Xu
出处
期刊：Surfaces and Interfaces [Elsevier]
日期：2024-08-08 卷期号：52: 104924-104924 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.surfin.2024.104924
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