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Study of room-temperature deposited ZrNx thin films

材料科学薄膜工程物理纳米技术工程类

作者

Nikita Choudhary,Shailesh Kalal,Akhil Tayal,Bidhubhusan Mahapatra,Sanat Kumar Mukherjee,Mukul Gupta

出处

期刊：Bulletin of Materials Science [Springer Science+Business Media]
日期：2024-08-19 卷期号：47 (3)

标识

DOI：10.1007/s12034-024-03276-3

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