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Beyond 20nm DRAM Capacitor Etch Challenge and Process Solution

德拉姆 电容器 动态随机存取存储器 占空比 临界尺寸 材料科学 过程(计算) 失真(音乐) 光电子学 纵横比(航空) 计算机科学 蚀刻(微加工) 维数(图论) 功率(物理) 电子工程 纳米技术 电气工程 工程类 电压 物理 半导体存储器 计算机硬件 数学 光学 操作系统 量子力学 放大器 CMOS芯片 纯数学 图层(电子)
作者
Jianqiu Hou,Jun Xia,Ya Zhou,Kangshu Zhan,Zengwen Hu
标识
DOI:10.1109/cstic55103.2022.9856916
摘要

With the smaller size of the dynamic random access memory, the capacitor etch becomes more and more difficult due to the smaller critical dimension (CD) and higher aspect ratio. We found that mask selectivity, CD control, missing holes and bottom distortion will become very margin when capacitor aspect ratio is higher than 30. To address the challenges, we propose some process solutions in three directions, including lower pressure, higher bias power with low duty cycle and new chemistry are all effective to etch very small and deep capacitor holes. We also try to explain the mechanism of observed performance caused by optimal process conditions. It will be a good reference of capacitor etch for the next generation of DRAM.
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